佳能将面向小型基板发售半导体光刻机“FPA-3030i5a”,可制造多种半导体器件并降低拥有成本
佳能1将在2021年3月上旬发售半导体光刻机新产品——i线2步进式光刻机“FPA-3030i5a”。该产品支持化合物半导体等器件的生产制造
2020-10-29 10:01:38佳能1将在2021年3月上旬发售半导体光刻机新产品——i线2步进式光刻机“FPA-3030i5a”。该产品支持化合物半导体等器件的生产制造
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